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SP Mini-500
產品介紹
INTRODUCTION >> SP-MINI-500
SP-MINI-500 超小型奈米級長行程定位平台，具備500μm 閉環移動，專為儀器設備與測試設備的集成應用設計。
該平台搭載內建電容式感測器(Capacitive Position Sensors)，確保超高速性能與奈米級可重複性，適用於高精密檢測與自動化應用。
SP-MINI-500 具備極低的誤差運動，全行程內可保持極高的平坦度。此特性允許樣品夾具進行偏置設計，以改善樣品的可達性，同時維持高精準度的定位能力。
此外，該平台可客製化樣品夾持器與安裝方式，適用於多種應用領域，包括顯微鏡(Microscopy)、硬碟測試(Hard Disk Testing)與半導體檢測(Semiconductor Inspection)。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >>Prior SP Mini-500
- >500μm 的行程與奈米等級解析度
- 0.0025°超低旋轉誤差
- 電容定位傳感器提供卓越的定位精度與準確性，具有2nm的解析度與5nm的重覆精度
- 線性誤差小於 0.002%
- 動態表現：在無負載情況下的共振頻率通常為 210Hz，伺服迴路頻寬可達 55Hz
- In-situ 掃描及步進響應最佳化
- 隨插即用：平台連接器包含平台校準數據和參照感測器，允許控制器輕鬆互換
應用領域
APPLICATIONS >> NanoScan OP400
-
高精度顯微成像技術
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共軛焦顯微成像技術(Confocal)
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層光顯微成像技術(Light-Sheet)
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硬碟檢測
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半導體檢測與製造
-
科學與醫學儀器
產品規格
SPECIFICATIONS >> Prior SP Mini-500
| Model | SP-MINI-500 |
|---|---|
| Axis | Z |
| Range | 500um |
| Position noise | 2nm |
| Repeatability | 5nm |
| Linearity | 0.02% |
| Step Settle | 10ms |
| Material | Aluminum/ Stainless Steel |
| Size (L x W x H) | 60mm x 35.5mm x 24.5mm |
產品資源
RESOURCE >> PRIOR SP Mini-500
統一編號：28376870
服務信箱： service@totalsmart.com.tw
地址：40744 台中市西屯區河南路2段262號10樓之7
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8:30 am – 5:30 pm CST
導航： 
多媒體： 
電話： 04-27080265 ∣ 傳真：04-27080263
台北電話： 02-89924292 ∣ 傳真：02-89929426
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