Nanopositioning Piezo Stages | Queensgate
NPS-Z-15A
高精度奈米級Z軸定位平台,具備超低角度偏移與次奈米解析度
產品簡介
INTRODUCTION >> NPS-Z-15A
NPS-Z-15A 奈米級 Z 軸定位平台 採用壓電掃描與彈性導引(Piezo-Scanned Flexure Guided)設計,內建電容式位置感測器(Capacitive Position Sensors),確保高精度與高可重複性。
該平台具備次奈米解析度(Sub-Nanometer Resolution)與超低角度偏移,專為掃描探針顯微鏡(SPM, Scanning Probe Microscopes)探針定位與其他對側向運動高度敏感的應用設計。
NPS-Z-15A 在設計上極大程度降低了運動軸偏移,確保在 Z 軸移動時不會產生明顯的側向漂移,使其成為高精密奈米級定位需求的理想解決方案。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> [Product Name]- 行程 15μm,具有亞奈米級解析度
- 典型遲滯小於 0.005%,線性誤差小於 0.01%
- 第一共振頻率典型值超過 3.5kHz
- 高頻寬(超過 300Hz)與快速響應時間
- in-situ 掃描與步進響應最佳化
- 堅固耐用
- 採用 Super Invar 結構
產品規格
SPECIFICATIONS >> Prior NPS-Z-15A
Model | NPS-Z-15A |
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Axis | Z |
Range | ± 8μm |
Position noise | 0.05 nm rms |
Linearity | 0.01% |
Step Settle | 1.5 ms |
Material | super Invar (Bright nickel plated) |
Size | 51mm long x 37mm diameter |